1、真空設(shè)備用于排除實驗過程中大氣對于樣品純凈度的影響。

2. 實驗操作人員進(jìn)行操作過程中，切勿攜帶電子產(chǎn)品。

3、實驗操作人員需佩戴真空設(shè)備專用操作手套進(jìn)行操作，不能直接觸碰真

空設(shè)備。

4、真空設(shè)備配件應(yīng)在干燥箱內(nèi)保存，并遠(yuǎn)離具有腐蝕性的化學(xué)氣體或液體。

5、真空設(shè)備需定期進(jìn)行擦拭，應(yīng)選用無塵紙或無塵布配套酒精或丙酮進(jìn)行

清潔。

6、實驗室應(yīng)保持一定干燥度，實驗操作人員應(yīng)每日檢查實驗室的濕度及溫

度情況。

7、實驗室應(yīng)保持良好通風(fēng)，以避免機械泵油氣所造成的影響。

8、真空設(shè)備前級泵如使用油泵，應(yīng)定期更換干燥劑及機油。

9、操作人員應(yīng)關(guān)注真空設(shè)備所使用分子泵的溫度，以免過熱導(dǎo)致儀器壽命

縮短。

10、 操作人員應(yīng)在分子泵轉(zhuǎn)速降至安全線以下后，放入氮氣或液氮。

11、 操作人員應(yīng)密切關(guān)注高壓離子泵電源接口損耗程度，以防止操作人員觸

電，確保安全。

12、操作人員應(yīng)在真空度達(dá)到1×10-8mbar 以上啟動離子泵。

13、 實驗人員進(jìn)行操作時，應(yīng)嚴(yán)格按照各真空設(shè)備操作步驟進(jìn)行閥門開關(guān)，

以防止氣壓差所引起的倒抽現(xiàn)象。

14、 警鐘響亮?xí)r切勿再進(jìn)行實驗，應(yīng)立刻通知實驗室負(fù)責(zé)人及維修人員檢

查。

15、 如遇特殊情況，應(yīng)立刻通知所有在場者迅速離開，并切斷真空設(shè)備電源。

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